Charge gas and discharge parameters influence on kinetic and nucleation in RF Ar/C2H2 plasmas - Université Sorbonne Paris Nord Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2021
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03344016 , version 1 (14-09-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03344016 , version 1

Citer

Gautier Tetard, Armelle Michau, Swaminathan Prasanna, Jonathan Mougenot, Pascal Brault, et al.. Charge gas and discharge parameters influence on kinetic and nucleation in RF Ar/C2H2 plasmas. PLATHINIUM 2021, Sep 2021, Online, France. ⟨hal-03344016⟩
44 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More